本發(fā)明公開了一種高溫金屬有機化學(xué)氣相淀積反應(yīng)器,包括殼體、反應(yīng)室、送樣室、真空裝置、尾氣處理裝置以及操作控制裝置,其特征在于:所述反應(yīng)室為上底面小于下底面的錐桶形結(jié)構(gòu),包括多邊形錐臺式襯底托及套于襯底托外側(cè)的內(nèi)罩,所述內(nèi)罩的傾角大于襯底托傾角3°~5°,形成反應(yīng)氣體通道,反應(yīng)氣體自下經(jīng)氣體通道由反應(yīng)室頂部的出氣口排出;沿襯底托的外緣斜面布置有復(fù)數(shù)個襯底鋪設(shè)位,所述內(nèi)罩上設(shè)有與監(jiān)測點配合的光學(xué)窗口,供操作控制裝置實時監(jiān)控。本發(fā)明通過錐桶形結(jié)構(gòu)的反應(yīng)室,使送氣方向與浮熱方向基本一致,減少渦流產(chǎn)生,防止預(yù)反應(yīng)的發(fā)生,提高了外延材料的質(zhì)量和均勻性。
聲明:
“高溫金屬有機化學(xué)氣相淀積反應(yīng)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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