本發(fā)明公開了一種低溫下氧化鋅微納米線化學(xué)氣相沉積制備方法,先用超聲設(shè)備洗凈硅片或石英玻璃襯底,再將潔凈的襯底放入磁控濺射設(shè)備或者蒸鍍?cè)O(shè)備中,利用磁控濺射或熱蒸鍍的方法于襯底上制備一定厚度的微納米級(jí)鋅薄膜,將沉積有鋅薄膜的襯底硅放置于特有的水平管式爐的氣相沉積系統(tǒng)中,抽真空度達(dá)到15Pa以下的低真空態(tài),按一定速率升溫加熱此系統(tǒng)到一定溫度,并向此系統(tǒng)通入氧氣和氬氣或氮?dú)獠煌瑲夥毡壤龡l件下的熱處理,通過控制不同的熱處理溫度以及混合氣流速度得到不同形貌的氧化鋅納米線材料,本發(fā)明制備的氧化鋅納米線,微納米線質(zhì)量好,制備工藝簡(jiǎn)單、成本低,在氣體探測(cè)器、
光伏電池領(lǐng)域、催化材料及光電探測(cè)器等應(yīng)用領(lǐng)域前景廣闊。
聲明:
“低溫下氧化鋅微納米線化學(xué)氣相沉積制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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