本發(fā)明涉及一種化學(xué)氣相中沉積襯底溫度的控制方法,所述控制方法用于對(duì)穩(wěn)定時(shí)間段的所述襯底溫度進(jìn)行控制,在所述穩(wěn)定時(shí)間段內(nèi)所述襯底溫度處于相對(duì)穩(wěn)定狀態(tài)且其波動(dòng)幅度不超過(guò)一允許溫度值T,所述控制方法包括在所述時(shí)間段內(nèi),調(diào)節(jié)加熱單元的溫度在初始時(shí)刻t得到一穩(wěn)定值Tsp1,同時(shí)獲得一個(gè)所述襯底溫度的初始測(cè)量值Ts1,在改變反應(yīng)條件后,獲得所述襯底溫度在下一時(shí)刻t+Δt的新測(cè)量值Ts2,并由所述Ts1,所述Ts2和所述Tsp1計(jì)算得到所述下一時(shí)刻的所述穩(wěn)定值Tsp2。本發(fā)明避免了因所述襯底溫度的測(cè)量誤差引起的無(wú)法對(duì)所述襯底溫度進(jìn)行精確控制的問(wèn)題,能夠?qū)r(shí)間段的襯底溫度進(jìn)行精確可靠的控制。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積中襯底溫度的控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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