一種用于離子傳感器的氫終端金剛石表面電化學(xué)修復(fù)方法，屬于半導(dǎo)體基礎(chǔ)電路用基體材料制備領(lǐng)域。具體步驟為：a.利用氫氣等離子體處理，使金剛石形成表面p型導(dǎo)電溝道，使其實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體化；b.采用真空蒸鍍的方法在其光刻顯影后的金剛石表面制備特定圖案的電極，使氫終端金剛石實(shí)現(xiàn)電導(dǎo)通；c.將導(dǎo)線通過融焊法或銀漿與金電極聯(lián)結(jié)；d.在電極和導(dǎo)線上覆蓋一層硅膠保護(hù)涂層，避免金屬在強(qiáng)腐蝕酸堿溶液中受到損傷；e.將金剛石導(dǎo)線接于工作電極與對(duì)電極間，在不同離子溶液下模擬實(shí)際環(huán)境測(cè)試；f.將測(cè)試后的金剛石作為工作電極置于強(qiáng)無(wú)機(jī)酸溶液中，對(duì)其進(jìn)行0～?3V的負(fù)電位線性掃描。最終實(shí)現(xiàn)由于表面終端損傷而電阻升高的金剛石表面氫終端得到修復(fù)，使表面電阻下降。