本發(fā)明公開了一種薄膜型熱電轉(zhuǎn)換器及測量方法，涉及電學(xué)計量技 術(shù)，包括以硅片為襯底，利用低壓化學(xué)氣相外延方法在襯底上生長的 SiO2-Si3N4-SiO2三層薄膜夾層結(jié)構(gòu)，多次磁控濺射不同材料以及多次光刻、 腐蝕制備的熱偶、加熱器和接觸電極；其中，兩個加熱器并排放置在一個 熱偶的兩側(cè)。本發(fā)明的薄膜型熱電轉(zhuǎn)換器，測量時，使交流和直流同時分 別流過兩個加熱器，在熱偶上輸出交流、直流電功率導(dǎo)致的溫度差，直接 比較交流與直流電功率，使環(huán)境溫度和溫度梯度的變化對測量結(jié)果影響大 大降低。