本發(fā)明公開了一種基于氧化鋅納米線陣列的紫外光電探測(cè)器,屬于光電子器件領(lǐng)域。本發(fā)明利用化學(xué)氣相沉積技術(shù),通過調(diào)節(jié)雙溫區(qū)管式爐裝中真空壓力等實(shí)驗(yàn)參數(shù),在氮化鎵襯底上實(shí)現(xiàn)氧化鋅納米線陣列的均勻可控生長(zhǎng),然后利用透明導(dǎo)電玻璃直接貼壓法,得到對(duì)365nm紫外光具有毫秒量級(jí)的快速響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間的紫外光電探測(cè)器。本方法工藝簡(jiǎn)單,材料成本低廉,在快速紫外光電傳感器和短波長(zhǎng)光電器件領(lǐng)域有廣泛的運(yùn)用前景。
聲明:
“氧化鋅納米線陣列紫外光電探測(cè)器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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