本發(fā)明公開(kāi)一種基于
石墨烯片層的納機(jī)電諧振式傳感器及其制作方法,P-Si襯底上設(shè)有漏極-N型摻雜區(qū)和源極-N型摻雜區(qū),漏極-N型摻雜區(qū)上設(shè)有漏極電極,源極-N型摻雜區(qū)上設(shè)有源極電極,在P-Si襯底表面上且位于漏極-N型摻雜區(qū)和源極-N型摻雜區(qū)的正中間安置兩個(gè)SiO2錨區(qū),石墨烯兩端固支梁的兩端分別懸于兩個(gè)SiO2錨區(qū)上,石墨烯兩端固支梁的一端上設(shè)置一個(gè)與其相連接的頂柵電極;利用梁的振動(dòng)引起電場(chǎng)的變化來(lái)確定627諧振器的諧振頻率,能將微弱的諧振信號(hào)直接放大成可用于檢測(cè)的電壓信號(hào),避免了外接有源電路,使電路簡(jiǎn)化,能消除了由于寄生電容引起的低通濾波現(xiàn)象,尤其適用于超小質(zhì)量的化學(xué)物質(zhì)檢測(cè)。
聲明:
“基于石墨烯片層的納機(jī)電諧振式傳感器及其制作方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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