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光激活納米氧化物半導體氣敏傳感器

1142 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:33:29

一種光激活納米氧化物半導體氣敏傳感器,由光激發(fā)器、微結構氣敏芯片和定位臺組成,其中光激發(fā)器由照明光源、會聚鏡、單色儀和聚焦透鏡組構成,以提供頻率和強度可調的激發(fā)光束,照明光源發(fā)射出的光束經會聚鏡聚焦,再通過單色儀成為頻率可調的單色光,經過聚焦透鏡組會聚照射在微結構氣敏芯片上,微結構氣敏芯片由硅基底、叉形電極和覆蓋在叉形電極上的半導體氧化物敏感膜構成,并固定在定位臺上。本發(fā)明通過調節(jié)光激發(fā)器出射光束的頻率和強度,聚焦照射在微結構氣敏芯片上,使光激活氣體分子與半導體氧化物敏感膜表面發(fā)生化學吸附和脫附反應,通過叉形電極測量敏感膜電阻變化,可在室溫下實時快速檢測低濃度氣體。

聲明：

“光激活納米氧化物半導體氣敏傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)