本發(fā)明公開(kāi)了一種基于Pt顆粒修飾的氧化錫/氧化鋅核殼納米片結(jié)構(gòu)的氣敏
納米材料、制備工藝及其應(yīng)用。本發(fā)明用化學(xué)溶液法制備氧化錫核層納米片,再結(jié)合原子層沉積技術(shù),得到氧化錫/氧化鋅核殼結(jié)構(gòu)納米片,最后采用磁控濺射生長(zhǎng)Pt薄膜,實(shí)現(xiàn)了MEMS基原位生長(zhǎng)。本發(fā)明制備方法具有可重復(fù)性強(qiáng),成品率高,制備效率高,可規(guī)模化生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明構(gòu)建的氣敏納米材料應(yīng)用于氣體傳感時(shí)靈敏度大幅提升,具有高選擇性,展現(xiàn)了更加優(yōu)異的氣敏性能。本發(fā)明的氣敏納米材料能夠?qū)Σ糠治⒘繗怏w進(jìn)行檢測(cè),并且對(duì)硫化氫氣體具有優(yōu)異的選擇性,為氣體監(jiān)測(cè)領(lǐng)域開(kāi)發(fā)高靈敏度、高穩(wěn)定性的氣體傳感器提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支持。
聲明:
“基于Pt顆粒修飾的氧化錫/氧化鋅核殼納米片結(jié)構(gòu)的氣敏納米材料、制備工藝及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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