本發(fā)明提供一種基于納米裂紋的納流控
芯片及其加工方法。本發(fā)明由聚二甲基硅氧烷通道層玻璃基底鍵合而成,聚二甲基硅氧烷通道層含有微米通道和至少一條納米通道,納米通道與微米通道相連,微米通道末端通過(guò)儲(chǔ)液槽與外界連接,所述儲(chǔ)液槽用于納米流控芯片樣品的加入和提取。本發(fā)明加工方法簡(jiǎn)單,可實(shí)現(xiàn)單根納米通道或者多根納米通道陣列的高效快速加工,且納米通道的長(zhǎng)度、位置、尺寸精確可控。解決了采用傳統(tǒng)半導(dǎo)體加工工藝耗時(shí)長(zhǎng),成本高,操作復(fù)雜等問題。所加工的微納流控芯片可用于基于納流控技術(shù)的生物傳感、化學(xué)分析、微納能源收集等領(lǐng)域。
聲明:
“基于納米裂紋的納流控芯片及其加工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)