本發(fā)明公開了鑭系金屬摻雜二氧化鈰納米磨粒的制備方法和應(yīng)用,其中,制備方法包括:(1)測量二氧化鈰納米粉體的吸水率;(2)配制鑭系金屬硝酸鹽溶液,并對所述二氧化鈰納米粉體進(jìn)行等體積浸漬、陳化、烘干、焙燒和研磨,以便得到所述鑭系金屬摻雜的二氧化鈰納米磨粒。采用該方法不僅可以有效制備得到鑭系金屬元素?fù)诫s的二氧化鈰納米磨粒,而且利用該鑭系金屬元素?fù)诫s的二氧化鈰納米磨粒對介質(zhì)材料進(jìn)行化學(xué)機械拋光,可以在低磨粒含量下實現(xiàn)較高的材料去除速率和拋光后表面質(zhì)量,尤其能使介質(zhì)材料在堿性條件下兼具較高的拋光速率和表面質(zhì)量,從而實現(xiàn)理想的化學(xué)機械拋光效果。
聲明:
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