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預壓痕耦合拋光制備非晶合金表面微結構的方法

1004 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:56:57

本發(fā)明涉及一種預壓痕耦合拋光制備非晶合金表面微結構的方法，屬于材料表面微結構加工領域。利用壓痕測試儀器對拋光后的非晶合金表面進行陣列壓痕試驗，形成具有特定形狀和尺寸參數(shù)的預壓痕陣列；之后利用拋光液對含有預壓痕陣列的非晶合金表面進行化學機械拋光，在這個過程中，預壓痕區(qū)域會促使拋光顆粒的集聚，增強該區(qū)域的材料去除，從而在非晶合金表面形成具有納米尺度深度的微結構；之后，利用丙酮對拋光后的表面進行清洗，即可得到微結構化的非晶合金表面。通過改變預壓痕參數(shù)和拋光過程參數(shù)?？煞奖恪⒖旖莸刂苽渚哂胁煌Y構形狀和參數(shù)的微結構，在微納光學、模具、微流控、生物醫(yī)學、自組裝、仿生表面科學等領域具有良好的應用前景。

聲明：

“預壓痕耦合拋光制備非晶合金表面微結構的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)