本發(fā)明提供一種無損工件檢驗(yàn)方法,其中將一電磁調(diào)制強(qiáng)度的激勵(lì)光束導(dǎo)向工件表面的一個(gè)檢驗(yàn)點(diǎn),并對(duì)檢驗(yàn)點(diǎn)發(fā)射的熱輻射探測(cè)和求算。激勵(lì)光束被周期性地導(dǎo)向不同方向,每一方向都指向工件表面不同的檢驗(yàn)點(diǎn)。另外,提供一種用于無損工件檢驗(yàn)的裝置,包括一個(gè)發(fā)射電磁激勵(lì)光束的激勵(lì)源,一個(gè)調(diào)制激勵(lì)光束強(qiáng)度的并將其導(dǎo)向工件表面一個(gè)檢驗(yàn)點(diǎn)的光學(xué)裝置,還包括一個(gè)探測(cè)由檢驗(yàn)點(diǎn)發(fā)射的熱輻射的探測(cè)裝置。該光學(xué)裝置包括調(diào)制裝置,用于將激勵(lì)光束周期性地偏轉(zhuǎn)至不同方向,和一個(gè)定向裝置,用于將每一方向上的激勵(lì)光束導(dǎo)向工件表面的一個(gè)不同檢驗(yàn)點(diǎn)。
聲明:
“無損工件檢驗(yàn)的方法和設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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