本發(fā)明公開了一種面壁材料3D微區(qū)燃料滯留無(wú)損定量分析方法。首先，四維可移動(dòng)樣品加熱模塊對(duì)被測(cè)樣品進(jìn)行加熱，溫度在300K到1300K可控；其次，計(jì)算機(jī)通過(guò)FPGA時(shí)序控制解吸附激光器發(fā)出解吸附激光，依次經(jīng)過(guò)激光擴(kuò)束儀、激光能量調(diào)控系統(tǒng)、石英片、斬波器、激光高反射鏡、拋物面反射鏡照射在被測(cè)樣品上；ICCD相機(jī)采集微區(qū)激光解吸附的XY分辨率；解吸附氣體被銥燈絲發(fā)射出的70eV高能電子電離再經(jīng)由四級(jí)質(zhì)譜儀采集質(zhì)譜信息，送入計(jì)算機(jī)；最后，計(jì)算機(jī)提取需定量的質(zhì)譜峰的強(qiáng)度及展寬信息，并與計(jì)算機(jī)中使用權(quán)威計(jì)量機(jī)構(gòu)標(biāo)定的通導(dǎo)型玻璃漏孔分壓方法得到的定量校準(zhǔn)曲線對(duì)比分析，通過(guò)數(shù)據(jù)處理，得到微區(qū)燃料滯留的定量分析結(jié)果。