本發(fā)明公開了一種測試金屬薄膜室溫壓入蠕變性能的方法,采用納米壓痕儀在金屬薄膜上通過控制應(yīng)變率和壓入深度,保載后得到位移-載荷曲線,轉(zhuǎn)化為應(yīng)力-應(yīng)變率曲線,從而測得表征蠕變性能的應(yīng)力指數(shù),評價金屬薄膜的使用穩(wěn)定性。這種納米壓痕裝置一方面可以精確地測量薄膜的力學(xué)性能,其載荷和位移精度分別可達(dá)到1nN和0.1nm,另一方面由于這種裝置可以連續(xù)地施加應(yīng)力,可以快速、有效地得到載荷-位移曲線,對試樣本身無破壞性,可進(jìn)行無損檢測。然后通過計算得到真實應(yīng)力-應(yīng)變率曲線。
聲明:
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