本發(fā)明公開一種用于
納米材料成像的表面形貌測量系統(tǒng)。SPR傳感器跟隨掃描平臺在控制器的控制下對待測材料進(jìn)行逐步掃描,金屬薄膜與待測材料之間的空氣層被視作SPR傳感器耦合結(jié)構(gòu)的一部分,待測材料的表面形貌對表面等離子體共振現(xiàn)象產(chǎn)生影響,由SPR傳感器將每一步的反射圖譜傳送給上位機(jī),上位機(jī)將反射圖譜中的表面等離子共振信號提取出來,通過數(shù)據(jù)分析完成對待測材料的表面形貌重構(gòu)。該表面形貌測系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對樣品的高精度、高分辨率的非接觸無損檢測。
聲明:
“用于納米材料成像的表面形貌測量系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)