本發(fā)明公開了一種薄膜厚度和折射率的光學(xué)測(cè)量方法及其裝置。將寬帶光源出射的光通過(guò)干涉結(jié)構(gòu),產(chǎn)生干涉信號(hào),再探測(cè)干涉信號(hào)的光譜信息,并將光譜信息進(jìn)行傅立葉變換,即可得到產(chǎn)生干涉信號(hào)的二光路的光程差信息。在折射率已知的情況下,以同種方式在一個(gè)干涉臂中放置樣品后再測(cè)一次,比較這兩次光程差信息即可薄膜厚度。若折射率未知,需將薄膜旋轉(zhuǎn)一個(gè)角度,進(jìn)行第三次測(cè)量來(lái)計(jì)算出獲得薄膜的折射率和厚度。本發(fā)明采用光學(xué)方法,對(duì)樣品是無(wú)損的,分辨率為微米量級(jí),測(cè)量范圍可達(dá)到毫米量級(jí)。另外樣品不要求嚴(yán)格貼附在樣品臺(tái)上,同時(shí)信息處理方法簡(jiǎn)單,對(duì)于透明或半透明薄膜可以方便實(shí)時(shí)地得到其厚度和折射率信息。
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“薄膜厚度和折射率的光學(xué)測(cè)量方法及其裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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