本發(fā)明提供了一種靜態(tài)存儲(chǔ)器的在線失效分析方法和在線電子束檢測(cè)設(shè)備，包括：將不同類(lèi)型的探針安裝到在線電子束檢測(cè)設(shè)備的腔體中；將晶圓置于在線電子束檢測(cè)設(shè)備的腔體中；利用在線電子束檢測(cè)設(shè)備對(duì)接觸孔進(jìn)行掃描并獲得靜態(tài)存儲(chǔ)器中接觸孔的圖像信息；根據(jù)接觸孔的圖像信息找出產(chǎn)生缺陷的接觸孔；根據(jù)產(chǎn)生缺陷的接觸孔的類(lèi)型來(lái)選擇與之相對(duì)應(yīng)的探針；在線電子束檢測(cè)設(shè)備控制所選擇的探針與相應(yīng)的產(chǎn)生缺陷的接觸孔相接觸，并進(jìn)行電性能檢測(cè)；根據(jù)產(chǎn)生缺陷的接觸孔在靜態(tài)存儲(chǔ)器單元中的功能，在線電子束檢測(cè)設(shè)備將探針進(jìn)行組合來(lái)檢測(cè)功能并進(jìn)行失效分析；檢測(cè)到功能失效，則產(chǎn)生缺陷的接觸孔是導(dǎo)致靜態(tài)存儲(chǔ)器失效的原因。