亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 失效分析技術(shù)

> TSV圓片級封裝MEMS芯片的失效分析裝置及其分析方法

TSV圓片級封裝MEMS芯片的失效分析裝置及其分析方法

853   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:29
本發(fā)明公開了TSV圓片級封裝MEMS芯片的失效分析裝置及其分析方法,該裝置由顯微鏡、反光盒和探針系統(tǒng)組成;反光盒由外殼、外殼中兩個互成90°的反光鏡和外殼頂部開口處的透明玻璃組成,反光鏡與外殼底面夾角為45°;探針系統(tǒng)包括探針、探針臂和探針座,探針通過探針臂與探針座連接,探針上連接導線,導線與測試裝置或電源連接。該裝置利用反光鏡改變光線方向,不需背面鏡頭,就可以用于分析MEMS芯片的失效機理,結(jié)構(gòu)簡單,效果好。本發(fā)明的分析方法為:將待分析MEMS芯片放置在透明玻璃上,在壓焊塊上扎上探針;通過導線向MEMS結(jié)構(gòu)輸入激勵電壓;通過顯微鏡觀察MEMS結(jié)構(gòu)的響應判斷MEMS器件的失效機理。該方法操作簡單,能夠快速、準確地對待分析MEMS芯片進行失效分析。
聲明:
“TSV圓片級封裝MEMS芯片的失效分析裝置及其分析方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
失效分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記