本發(fā)明公開(kāi)了一種用于測(cè)試包括半導(dǎo)體
芯片的晶片的方法。與晶片上過(guò)濾失效半導(dǎo)體芯片的空間相關(guān)組相關(guān)地確定晶片是否有缺陷,其中所述空間相關(guān)組對(duì)應(yīng)于晶片上的局部失效且用來(lái)計(jì)算缺陷指數(shù)值。
聲明:
“檢測(cè)半導(dǎo)體晶片上局部失效的測(cè)試方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)