本發(fā)明提供的用于判定GOX擊穿失效的樣品制備方法,其在對隔絕氧化層進行機械研磨后使用BOE溶液腐蝕去除
多晶硅層上剩余隔絕氧化層,降低了研磨處理傷害樣品的風(fēng)險,提高了樣品處理的成功率;使得多晶硅層厚度均勻,便于后續(xù)步驟的控制;可以實現(xiàn)剩余隔離氧化層的完全去除,使得多晶硅層表面無氧化物殘留,保證了樣品的潔凈度,使得SEM觀察無干擾。同時采用新型高腐蝕選擇比的堿性溶液腐蝕去除多晶硅層,由于腐蝕選擇比高,腐蝕時間延長,使得腐蝕過程易于控制,最終可以呈現(xiàn)一個均勻、完整、潔凈的GOX用于SEM進行全方位觀察,大幅提高了擊穿點觀測的成功率和精確度。
聲明:
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