本實用新型公開了一種用于高頻率微尺度聲表面波器件測試的裝置,包括真空手套箱、微型手動探針測試臺和矢量網(wǎng)絡分析儀,所述真空手套箱包括真空手套箱箱體和機械泵,所述微型手動探針測試臺包括載臺機構、探針機構和顯微鏡機構,所述載臺機構包括工作臺、載物臺和卡盤,兩個探針分別為輸入探針和輸出探針,所述矢量網(wǎng)絡分析儀的輸出測試端口通過輸出導線與所述輸出探針連接,所述矢量網(wǎng)絡分析儀的輸入測試端口通過輸入導線與所述輸入探針連接。本實用新型結構簡單,設計合理,成本低,增強了高頻率微尺度聲表面波器件測試的可靠性,確保高頻率微尺度聲表面波器件失效測試準確性,實用性強。
聲明:
“用于高頻率微尺度聲表面波器件測試的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)