本發(fā)明提供一種制程機(jī)臺(tái)監(jiān)控的離線量測(cè)的方法與系統(tǒng)。提供一自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫(kù),用以儲(chǔ)存用于執(zhí)行晶圓批量處理的預(yù)定監(jiān)控規(guī)則。定義用于執(zhí)行該晶圓批量處理的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù),根據(jù)選取自該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫(kù)中的監(jiān)控規(guī)則取得所欲監(jiān)控?cái)?shù)據(jù),根據(jù)該監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)并利用一制程機(jī)臺(tái)執(zhí)行一離線量測(cè)操作以產(chǎn)生監(jiān)控結(jié)果,并且根據(jù)該監(jiān)控結(jié)果比較該選取的監(jiān)控規(guī)則與數(shù)據(jù)以判斷是否發(fā)生異常狀態(tài)。若否,則利用該制程機(jī)臺(tái)執(zhí)行晶圓批量處理。若是,則結(jié)束該制程機(jī)臺(tái)的晶圓批量處理。接著反饋一失效通知,并且重新定義監(jiān)控規(guī)則以更新該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫(kù)。本發(fā)明可改善晶圓批量處理的效率與流程,減少生產(chǎn)損失。