本發(fā)明提供一種基于等效電路的晶體管可靠性表征方法，包括以下步驟：S1、根據(jù)晶體管類型確定晶體管的等效電路；S2、確定用于壽命加速試驗(yàn)的應(yīng)力的類型和大小，并確定等效電路中的敏感參數(shù)退化模型；S3、對(duì)晶體管進(jìn)行壽命加速測(cè)試；S4、定時(shí)采集晶體管的測(cè)試數(shù)據(jù)，提取等效電路敏感參數(shù)，得到等效電路敏感參數(shù)隨應(yīng)力和時(shí)間的變化關(guān)系；S5、對(duì)所述敏感參數(shù)退化模型中的待定常數(shù)進(jìn)行擬合，得到完整敏感參數(shù)退化模型和完整等效電路；S6、對(duì)晶體管進(jìn)行失效機(jī)制分析和可靠性分析。本發(fā)明可用于模擬器件失效機(jī)制對(duì)電路性能的影響，可以分析晶體管的失效機(jī)制，指導(dǎo)工藝改進(jìn)，還可以預(yù)測(cè)晶體管的性能退化量和失效時(shí)間，縮短可靠性試驗(yàn)時(shí)間。