亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 失效分析技術(shù)

> 超薄平面透射電鏡樣品的制備方法

超薄平面透射電鏡樣品的制備方法

1146   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:37
本發(fā)明涉及一種超薄平面透射電鏡樣品的制備方法。包括以下步驟:提供具有待觀測的失效分析點(diǎn)的芯片;對芯片進(jìn)行截取得到TEM樣品;在TEM樣品上靠近失效分析點(diǎn)處形成停止標(biāo)記,并研磨TEM樣品的橫截面至停止標(biāo)記;在TEM樣品橫截面的失效分析點(diǎn)上鍍Pt保護(hù)層;在第二薄膜層上靠近失效分析點(diǎn)處挖凹坑,并減薄第二薄膜層;將TEM樣品放置在沸騰的膽堿配比溶液中反應(yīng);采用聚焦離子束對TEM樣品進(jìn)行切斷,得到目標(biāo)層樣品。本發(fā)明的一種超薄平面透射電鏡樣品的制備方法,既可以準(zhǔn)確定位樣品,又可以得到厚度在十幾個納米的TEM目標(biāo)層樣品,避免了平面透射電鏡受到前層多晶硅或者后層多晶硅對待觀察區(qū)域的干擾,大大提高了失效分析中判斷定位的準(zhǔn)確性。
聲明:
“超薄平面透射電鏡樣品的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
失效分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記