一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的硅電容真空傳感器,涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器和真空傳感器制造領(lǐng)域,包括上極板、下極板、中間絕緣層、真空腔以及上下極板上的電引線焊盤,真空腔是上極板與中間絕緣層間、或者上極板、中間絕緣層與下極板間形成的密封腔,真空腔內(nèi)設(shè)計(jì)有絕緣支撐柱陣列,所述絕緣支撐柱的頂端面與上極板間留有空隙。本發(fā)明能有效測(cè)量高真空度、覆蓋真空度范圍大、制作工藝簡(jiǎn)單,有效解決現(xiàn)有技術(shù)的微型電容薄膜傳感器存在的敏感薄膜破裂、粘附失效以及所用玻璃材料放氣等問題。
聲明:
“基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的硅電容真空傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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