采用一種微電子電極組合件(1),其具有布置在襯底(2)上的第一電極(3),其中第一電極(3)具有由具有固態(tài)晶格的第一電極材料所制成的薄層,其中第一電極材料在與含氧化合物相接觸時(shí)氧化并且具有
鈣鈦礦或者鈣鈦礦衍生晶體結(jié)構(gòu),以及其中電極(3)具有背向襯底(2)的功能表面(4),分隔層(5)布置在電極(3)的功能表面(4)上,這阻止功能表面(4)的區(qū)域中的電極材料的氧化,所述氧化改變電極(3)的性質(zhì)。電絕緣功能層(6)布置在分隔層(5)上,以及第二電極(7)布置在電絕緣功能層(6)上。按照本發(fā)明,第一電極材料有利地具有化合物SrMoO
3、SrMoO
3?aN
a?BaMoO
3、SrVO
3或Sr
2MoO
4其中之一,以及分隔層(5)具有化合物SrTiO
3、DyScO
3、GdScO
3或SrHfO
3其中之一。功能層(6)是具有分子式Ba
xSr
1?xTi
1±yO
3±z(優(yōu)選地為Ba
0.5Sr
0.5TiO
3)的化合物。電極組合件(1)形成變抗器。
聲明:
“微電子電極組合件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)