本發(fā)明涉及
復(fù)合材料領(lǐng)域,具體涉及一種制備碳化硅致密復(fù)合材料的方法。一種制備碳化硅致密復(fù)合材料的方法,該方法包括:(1)材料清洗:將待沉積材料置于高純水中超聲清洗,之后干燥后待用;(2)表面除雜:將清洗后的待沉積材料經(jīng)過(guò)高溫將表面雜質(zhì)形成金屬鹵化物升華除去;(3)沉積碳化硅:將除雜后的待沉積材料置于碳化硅沉積裝置中,在不同溫度下,向所述若干個(gè)保護(hù)罩內(nèi)分別通入不同濃度的氣體,通過(guò)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)在待沉積材料表面進(jìn)行不同程度的碳化硅的沉積;本發(fā)明解決了一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi),裝置內(nèi)需完成多個(gè)產(chǎn)品的碳化硅涂層沉積工作,且各產(chǎn)品的技術(shù)要求(例如碳化硅涂層厚度,表面結(jié)構(gòu),均勻性等)均不相同的問(wèn)題。
聲明:
“制備碳化硅致密復(fù)合材料的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)