本發(fā)明涉及一種基于梯度蒸發(fā)模具的CVD?TaxHf1?xC固溶體涂層的制備方法,將C/C基體懸掛于化學(xué)氣相沉積爐中;將前驅(qū)體HfCl4和TaCl5粉料放置于蒸發(fā)容器內(nèi),并置于化學(xué)氣相沉積爐的低溫?fù)]發(fā)區(qū);將化學(xué)氣相沉積爐抽真空至5Kpa,并且關(guān)閉閥門以及
真空泵后保壓通入氬氣;加熱兩步,第一步以7℃/min加熱到900℃,第二步程序以6℃/min加熱到1100~1250℃,使?fàn)t腔在氬氣保護(hù)下升溫至預(yù)設(shè)溫度;沉積完成后挺直通入氫氣和甲烷,繼續(xù)通入氬氣對爐腔進(jìn)行清洗和降溫,使?fàn)t體自然冷卻,得到帶有TaxHf1?xC固溶體涂層的C/C
復(fù)合材料。本發(fā)明的制備工藝簡單易操作,制備周期短,能夠適用于形狀復(fù)雜的復(fù)合材料構(gòu)件,深化了TaxHf1?xC固溶體陶瓷其在超高溫材料領(lǐng)域中的應(yīng)用。
聲明:
“基于梯度蒸發(fā)模具的CVD-TaxHf1-xC固溶體涂層的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)