本發(fā)明屬于導(dǎo)體表面電場測量技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種利用電致發(fā)光材料監(jiān)測導(dǎo)體表面電場的方法，包括：獲取ZnS:Cu/環(huán)氧樹脂復(fù)合材料；在被測導(dǎo)體上設(shè)置一層ZnS:Cu/環(huán)氧樹脂復(fù)合材料的電致發(fā)光層；實(shí)驗(yàn)測得電致發(fā)光層的電致發(fā)光強(qiáng)度，根據(jù)電致發(fā)光強(qiáng)度與電場強(qiáng)度的擬合曲線得到被測導(dǎo)體表面的電場強(qiáng)度分布情況。本發(fā)明通過旋涂技術(shù)在導(dǎo)體基材表面制備電致發(fā)光層，在不同的外加電場強(qiáng)度下，分別用亮度計(jì)測試其電致發(fā)光強(qiáng)度；得到電致發(fā)光強(qiáng)度與電場強(qiáng)度的關(guān)系后，將電致發(fā)光層置于被測導(dǎo)體表面，利用電致發(fā)光層的電致發(fā)光強(qiáng)度反映導(dǎo)體表面電場的分布情況，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)體表面電場的監(jiān)測，減小傳統(tǒng)測量方式中電場探頭的引入發(fā)生畸變，帶來測量誤差的問題。