本發(fā)明涉及一種宏微復(fù)合壓電驅(qū)動膜,包括:樹脂基質(zhì)、納米顆粒、壓電材料顆粒,特點在于還包括導(dǎo)體顆粒,且所述復(fù)合壓電驅(qū)動膜是一矩形薄片結(jié)構(gòu),其中:所述樹脂基質(zhì)中均勻分布有導(dǎo)電性良好的納米顆粒,且包括壓電
復(fù)合材料層、第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層;所述第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層中均勻分布有導(dǎo)體顆粒,布置在所述壓電復(fù)合材料層兩側(cè)外表面,且所述第一導(dǎo)電層厚度小于第二導(dǎo)電層厚度??刹捎迷霾闹圃煲淮纬尚停阌谖⑿突?,在微機械、微流體驅(qū)動以及微小機器人等方面具有廣泛的應(yīng)用前景。
聲明:
“宏微復(fù)合壓電驅(qū)動膜” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)