本實(shí)用新型公開了一種鋰離子
電池材料的連續(xù)式真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備,要解決的技術(shù)問題是精確控制包覆層的膜厚。本實(shí)用新型設(shè)有反應(yīng)室和傳動裝置,反應(yīng)室為移動裝置,傳動裝置為傳輸帶循環(huán)式傳動機(jī),整個(gè)傳動裝置穿置于兩端為敞口的四周封閉的分別為預(yù)熱段、真空沉積段和降溫段的流程通道內(nèi)。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比,采用傳動裝置和可移動式反應(yīng)室,實(shí)現(xiàn)了以流水線、自動化作業(yè)的方式進(jìn)行化學(xué)氣相沉積工藝,實(shí)現(xiàn)了對粉狀基體進(jìn)行包覆的加工工藝,工藝簡單,容易精確控制包覆層的厚度,生產(chǎn)效率高,降低了生產(chǎn)成本,對環(huán)境無污染。
聲明:
“鋰離子電池材料的連續(xù)式真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)