本發(fā)明涉及一種由
鈦金屬膜、鋁金屬膜及鈦金屬膜組成的鈦-鋁-鈦金屬層疊膜用蝕刻液組合物。該組合物由氟化物、氧化性酸、非氧化性堿金屬鹽以及水組成。其中,非氧化性堿金屬鹽優(yōu)選為水溶性的鋰、鉀、鈉鹽中的至少一種;氟化物、氧化性酸和非氧化性堿金屬鹽的質(zhì)量百分濃度分別為0.01~5%、0.1~30%和0.0004~0.35%。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于,可以將三層金屬層疊膜一起進(jìn)行蝕刻,并可有效降低側(cè)蝕量、提高蝕刻均勻性,得到的錐角在25度以下;另外,該蝕刻液組合物不采用價(jià)格昂貴的鹽類(lèi)輔助氧化劑,而是采用價(jià)格更為低廉的非氧化性鹽類(lèi)或其混合物,降低了生產(chǎn)成本,達(dá)到了成本和性能的平衡。
聲明:
“鈦-鋁-鈦金屬層疊膜用蝕刻液組合物” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)