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彈性波裝置、多工器、高頻前端電路以及通信裝置

835   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:26:42
本發(fā)明提供一種在其它彈性波濾波器中不易產(chǎn)生由高階模造成的紋波的彈性波裝置。彈性波裝置(1)具備:支承基板(2),是硅基板;氮化硅膜(3),層疊在支承基板(2)上;氧化硅膜(4),層疊在氮化硅膜(3)上;壓電體(5),層疊在氧化硅膜(4)上,且由鉭酸鋰構(gòu)成;以及IDT電極(6),設(shè)置在壓電體(5)的一個(gè)主面,關(guān)于壓電體的波長(zhǎng)歸一化膜厚TLT、壓電體的歐拉角θLT、所述氮化硅膜的波長(zhǎng)歸一化膜厚TN、氧化硅膜(4)的波長(zhǎng)歸一化膜厚TS、通過(guò)所述IDT電極的波長(zhǎng)歸一化膜厚和所述IDT電極的密度相對(duì)于鋁的密度之比的積求出的、換算為鋁的厚度的IDT電極(6)的波長(zhǎng)歸一化膜厚TE、支承基板(2)的傳播方向Ψsi、支承基板(2)的波長(zhǎng)歸一化膜厚TSi的值,TLT、θLT、TN、Ts、TE、ψsi被設(shè)定為由下述的式(1)表示的與第一高階模的響應(yīng)強(qiáng)度對(duì)應(yīng)的Ih、與第二高階模的響應(yīng)強(qiáng)度對(duì)應(yīng)的Ih、以及與第三高階模的響應(yīng)強(qiáng)度對(duì)應(yīng)的Ih中的至少一個(gè)大于?2.4,且Tsi>20。[數(shù)學(xué)式1]
聲明:
“彈性波裝置、多工器、高頻前端電路以及通信裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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