本發(fā)明提供一種在其它彈性波濾波器中不易產(chǎn)生由高階模造成的紋波的彈性波裝置。彈性波裝置(1)具備:支承基板(2),是硅基板;氮化硅膜(3),層疊在支承基板(2)上;氧化硅膜(4),層疊在氮化硅膜(3)上;壓電體(5),層疊在氧化硅膜(4)上,且由鉭酸鋰構(gòu)成;以及IDT電極(6),設(shè)置在壓電體(5)的一個(gè)主面,關(guān)于壓電體的波長(zhǎng)歸一化膜厚T
LT、壓電體的歐拉角θ
LT、所述氮化硅膜的波長(zhǎng)歸一化膜厚T
N、氧化硅膜(4)的波長(zhǎng)歸一化膜厚T
S、通過(guò)所述IDT電極的波長(zhǎng)歸一化膜厚和所述IDT電極的密度相對(duì)于鋁的密度之比的積求出的、換算為鋁的厚度的IDT電極(6)的波長(zhǎng)歸一化膜厚T
E、支承基板(2)的傳播方向Ψ
si、支承基板(2)的波長(zhǎng)歸一化膜厚T
Si的值,T
LT、θ
LT、T
N、T
s、T
E、ψ
si被設(shè)定為由下述的式(1)表示的與第一高階模的響應(yīng)強(qiáng)度對(duì)應(yīng)的I
h、與第二高階模的響應(yīng)強(qiáng)度對(duì)應(yīng)的Ih、以及與第三高階模的響應(yīng)強(qiáng)度對(duì)應(yīng)的I
h中的至少一個(gè)大于?2.4,且T
si>20。[數(shù)學(xué)式1]
聲明:
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我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)