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基于單晶硅納米薄膜光電器件的氣體與化學(xué)物質(zhì)傳感系統(tǒng)的制備方法

662   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:56:02
本發(fā)明屬于柔性光電子傳感技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種基于高靈敏單晶硅納米薄膜光電子器件的氣體與化學(xué)物質(zhì)探測傳感系統(tǒng)的制備方法。本發(fā)明首先采用整體轉(zhuǎn)移的工藝,將單晶硅納米薄膜光電三極管轉(zhuǎn)移到柔性的聚酰亞胺襯底上實現(xiàn)高靈敏的柔性光電子器件。以此器件為平臺,在器件表面修飾在特定氣體或化學(xué)物質(zhì)作用下能發(fā)生光學(xué)參數(shù)變化的敏感材料,通過分析系統(tǒng)吸附化學(xué)物質(zhì)后光電信號的變化,實現(xiàn)氣體與化學(xué)物質(zhì)的探測傳感。本發(fā)明作為傳統(tǒng)傳感器的有力補充,為未來可集成于芯片上的非接觸式氣體與化學(xué)物質(zhì)的傳感探測系統(tǒng)的研制奠定了基礎(chǔ)。
聲明:
“基于單晶硅納米薄膜光電器件的氣體與化學(xué)物質(zhì)傳感系統(tǒng)的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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