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共面柵陽極碲鋅鎘探測器的制備方法

1056   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:25:58
本發(fā)明涉及一種共面柵陽極碲鋅鎘探測器的制備方法,屬半導體晶體核探測器制造工藝技術(shù)領(lǐng)域。該探測器是由碲鋅鎘晶體及其陽極和陰極組成,該探測器的制備方法具有以下步驟:先將切割好的、晶面方向為(111)定向的、具有一定尺寸的碲鋅鎘晶片進行粗拋,細拋,表面化學腐蝕,清洗各工序的表面處理,然后制成電極:電極的制備采用真空蒸發(fā)沉積電極,利用光刻技術(shù)得到兩組共平面交叉指形的微條形陽極,陰極為完整的平面電極,兩組陽極和一個陰極均有金絲引線引出;沉積的電極為鉻金合金復合電極;最后將未沉積電極鍍層的晶片表面進行鈍化,最終制得共面柵陽極碲鋅鎘探測器。本發(fā)明方法制得的探測器具有較優(yōu)的射線能量分辨率。
聲明:
“共面柵陽極碲鋅鎘探測器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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