本發(fā)明公開(kāi)一種消除極化效應(yīng)的金剛石中子探測(cè)器的制備方法,包含以下步驟:將金剛石體材料進(jìn)行化學(xué)清洗和等離子表面處理;在金剛石體材料正表面生長(zhǎng)氮化硅鈍化層;利用高真空設(shè)備在金剛石正表面和背表面分別制備歐姆接觸電極和極化電極,背面極化電極必須在金剛石背面的正中心位置;在金剛石正表面的歐姆接觸電極和極化電極之間是氮化硅鈍化隔離層;將極化電極接到直流小電壓電源的兩端;將歐姆接觸電極接到高壓電源兩端。本發(fā)明制備的消除極化效應(yīng)的金剛石中子探測(cè)器的制備方法,具有高的電荷收集效率、中子探測(cè)效率和計(jì)數(shù)率等優(yōu)點(diǎn),在高能量粒子探測(cè)、散裂中子源、核反應(yīng)堆等場(chǎng)合的快中子探測(cè)中具有重要的應(yīng)用價(jià)值。
聲明:
“消除極化效應(yīng)的金剛石中子探測(cè)器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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