本發(fā)明公開了一種基于反射型太赫茲時域光譜的金屬表面粗糙度檢測裝置,包括:飛秒激光器(1)、分束器(2)、光學延遲線(3)、反射鏡(4)、第一光纖耦合器(5)、第一光纖(6-1)、第二光纖(6-2)、太赫茲發(fā)射器(7)、樣品臺(8)、太赫茲探測器(9)、第二光纖耦合器(10)和計算機(11);同時還公開了一種利用本裝置進行的檢測方法:首先利用裝置獲取某種材料的標準試件的太赫茲反射光譜,建立粗糙度檢測模型,然后測量待測試件的太赫茲反射光譜,并應用建立的粗糙度檢測模型獲取粗糙度;本發(fā)明利用太赫茲波原理能夠?qū)у儗拥慕饘俚谋砻娲植诙炔町?、腐蝕和表面損傷等進行準確檢測,具有無損、非接觸、分析速度快等特點。
聲明:
“基于反射型太赫茲時域光譜的金屬表面粗糙度檢測裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)