本發(fā)明涉及一種苯蒸氣檢測傳感器敏感材料及氣敏元件的制備方法,屬
功能材料、傳感技術(shù)與環(huán)境監(jiān)測技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明以溶膠凝膠法制得的SnO2與商用V2O5固相反應(yīng)制得的
復(fù)合材料作為敏感材料來檢測苯蒸氣;將涂覆SnO2/V2O5納米復(fù)合材料的氣敏元件經(jīng)500℃煅燒,按厚膜式半導(dǎo)體氣敏元件制作工藝對氣敏元件進行焊接,即四角電極引線鉑絲的焊接;干燥后,老化、封裝,便制得苯蒸氣檢測傳感器氣敏元件。制得的氣敏元件對苯蒸氣的檢測具有高靈敏度、高選擇性、低功耗等優(yōu)點,可用于檢測大氣或室內(nèi)環(huán)境中的苯蒸氣和甲苯蒸氣。?
聲明:
“苯蒸氣檢測傳感器敏感材料及氣敏元件的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)