本發(fā)明涉及一種微型固態(tài)薄膜鋰電池的制備方法。本發(fā)明屬于化學電源技術領域。一種微型固態(tài)薄膜鋰電池的制備方法，其特點是：微型固態(tài)薄膜鋰電池的結構為玻璃/Al/V₂O₅/LiPON/Li/Cu；制備過程包括：采用磁控濺射法，沉積金屬Al薄膜作為正極集流體，沉積V₂O₅薄膜作為正極薄膜；采用原子層沉積技術，沉積鋰磷氧氮薄膜對正極薄膜進行修飾；采用磁控濺射技術，沉積鋰磷氧氮固態(tài)電解質薄膜，沉積金屬Li薄膜作為負極，最終完成微型固態(tài)薄膜鋰電池的制備。本發(fā)明對微型固態(tài)薄膜鋰電池正極/電解質薄膜界面進行了原子尺寸的修飾，能有效改善界面接觸效果，降低電池阻抗，提高電池性能。